与扩散喷射泵相比，油扩散泵的抽气量和最大出口压力要低得多，所以泵的加热功率也比较低。油扩散泵的锅炉直径通常等于（或小于）泵口直径。抽速大于500L/S的油扩散泵锅炉的热负荷不超过2-2.5W/cm2.
在油扩散泵中，油蒸发所损耗的功率通常为总功率的60%-70%，其余部分为补偿各种热损失的功率。在扩散泵中损失主要有以下几个方面：从加热器表面经过锅炉壁向外界的热传导（占20%-25%）；沿泵壁从热的锅炉向内冷的泵体的热传导（占10%-15%）；从导流管表面向泵壁的辐射和气体与蒸汽的混合物从导流管向泵壁的热传导（5%-10%）。如果泵的结构比较好，则热损耗可降到总功率的10%-15%。例如，对泵的加热器和锅炉进行绝热保温，可以明显地降低热损耗。如果采用封闭式加热器，锅底底面和加热器之间没有空气层存在，则加热功率可以很好地利用。

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